铜铟镓硒太阳能电池薄膜溅射沉积设备
T/ZZB 1790-2020
- 标准号
- T/ZZB 1790-2020
- 标准名称
- 铜铟镓硒太阳能电池薄膜溅射沉积设备
- 英文名称
- Sputter equipment for Cu-In-Ga-Se thin film solar cells
- 状态
- 现行
- 发布日期
- 2020-11-06
- 实施日期
- 2020-11-30
- ICS 分类
- 23.160 真空技术
- CCS 分类
- J57 插、拉、刨、锯床
- 起草单位
- 浙江方正轻纺机械检测中心有限公司;浙江上方电子装备有限公司;浙江方正轻纺机械检测中心有限公司;慈溪市长信真空设备厂（普通合伙）
- 发布部门
- 团体标准-浙江省品牌建设联合会