工业用三氯化硼

T/ZSM 0004-2022
标准号
T/ZSM 0004-2022
标准名称
工业用三氯化硼
英文名称
Boron trichloride used for industry
状态
现行
发布日期
2022-05-16
实施日期
2022-06-01
ICS 分类
71.100.20 工业气体
CCS 分类
G86 工业气体与化学气体
起草单位
浙江英德赛半导体材料股份有限公司;杭州简臻标准技术有限公司
发布部门
团体标准-浙江省计量与标准化学会
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