MEMS高深宽比结构深度测量方法 光谱反射法
T/ZOIA 30001-2022
- 标准号
- T/ZOIA 30001-2022
- 标准名称
- MEMS高深宽比结构深度测量方法 光谱反射法
- 状态
- 现行
- 发布日期
- 2022-12-29
- 实施日期
- 2022-12-29
- ICS 分类
- 31.260 光电子学、激光设备
- CCS 分类
- L50 光电子器件综合
- 起草单位
- 中国科学院微电子研究所;中关村光电产业协会;天津大学;北京绿色制造产业联盟;凌云光技术股份有限公司;北京大学;中国计量科学研究院;北京总部企业协会
- 发布部门
- 团体标准-中关村光电产业协会