薄膜应力测定 基片弯曲法
T/SZMES 3-2021
- 标准号
- T/SZMES 3-2021
- 标准名称
- 薄膜应力测定 基片弯曲法
- 英文名称
- Determination of the film stress—Substrate curvature method
- 状态
- 现行
- 发布日期
- 2021-05-28
- 实施日期
- 2021-06-01
- ICS 分类
- 25.220.01 表面处理和镀涂综合
- 起草单位
- 深圳职业技术学院;天津职业技术师范大学;深圳市速普仪器有限公司;深圳大学;深圳市机械工程学会;深圳领威科技有限公司;广东省标准化研究院
- 发布部门
- 团体标准-深圳市机械工程学会