相移式激光干涉仪

标准号

T/SZBX 080-2022

标准名称

相移式激光干涉仪

英文名称

Phase-shifting Laser Interferometer

状态

现行

发布日期

2022-05-20

实施日期

2022-05-30

ICS 分类

17.180.30 光学测量仪器

CCS 分类

N33 电子光学与其他物理光学仪器

起草单位

苏州慧利仪器有限责任公司;德凯质量认证（上海）有限公司;苏州市质量和标准化院

发布部门

团体标准-苏州市标准化协会