半导体真空阀门技术要求规范

标准号

T/SHMHZQ 021-2023

标准名称

半导体真空阀门技术要求规范

状态

现行

发布日期

2023-09-22

实施日期

2023-10-07

ICS 分类

23.060.01 阀门综合

起草单位

帕茨特半导体设备(上海）有限公司;上海诗蔷科技有限公司;中科庆华(上海）科技有限公司;海塔狄思文化有限公司;上海鑫辉劳务派遣有限公司

发布部门

团体标准-上海市闵行区中小企业协会