局部放电EFPI光纤超声传感器探头MEMS制造技术 第1部分：基于SOI硅片的工艺规范
T/SEPA 4-2022
- 标准号
- T/SEPA 4-2022
- 标准名称
- 局部放电EFPI光纤超声传感器探头MEMS制造技术 第1部分：基于SOI硅片的工艺规范
- 英文名称
- MEMS fabrication technology of EFPI fiber optic ultrasonic sensor probe for partial discharge detection Part 1: process specification using the SOI wafer
- 状态
- 现行
- 发布日期
- 2022-12-01
- 实施日期
- 2023-02-01
- ICS 分类
- 29.020 电气工程综合
- CCS 分类
- K40 输变电设备综合
- 起草单位
- 国网上海市电力公司;西北工业大学;国网宁夏电力有限公司电力科学研究院;国网智能电网研究院有限公司;国网山西省电力公司;西安茂荣电力设备有限公司;华东电力试验研究院有限公司
- 发布部门
- 团体标准-上海市电力行业协会