高导热氮化硅陶瓷基片

T/SCS 000024-2023
标准号
T/SCS 000024-2023
标准名称
高导热氮化硅陶瓷基片
英文名称
High thermal conductivity silicon nitride substrate
状态
现行
发布日期
2023-01-31
实施日期
2023-02-28
ICS 分类
81.060.30 先进陶瓷
CCS 分类
Q32 特种陶瓷
起草单位
浙江多面体新材料有限公司;中国科学院上海硅酸盐研究所;浙江德汇电子材料有限公司;江苏宏微科技股份有限公司;基本半导体(无锡)有限公司
发布部门
团体标准-上海市硅酸盐学会
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