i-线光刻级氟化钙晶体元件

标准号

T/SCS 000021-2023

标准名称

i-线光刻级氟化钙晶体元件

英文名称

i-line lithography grade calcium fluoride crystal components

状态

现行

发布日期

2023-03-17

实施日期

2023-04-17

ICS 分类

31-030(电子技术专用材料)

CCS 分类

L90 电子技术专用材料

起草单位

中国科学院上海硅酸盐研究所;上海德硅凯氟光电科技有限公司;上海微电子装备（集团）股份有限公司;上海现代先进超精密制造中心有限公司;上海市硅酸盐学会

发布部门

团体标准-上海市硅酸盐学会