光刻机用超高压短弧曝光光源
T/JSQA 127-2022
- 标准号
- T/JSQA 127-2022
- 标准名称
- 光刻机用超高压短弧曝光光源
- 英文名称
- Ultrahigh pressure short arc stepper exposure lighting source
- 状态
- 现行
- 发布日期
- 2022-03-03
- 实施日期
- 2022-03-03
- ICS 分类
- 29.140.30 荧光灯、放电灯
- CCS 分类
- K71 电光源产品
- 起草单位
- 常州玉宇电光器件有限公司;常州检验检测标准认证研究院;深圳市合丰嘉大科技有限公司;杭州汉光照明有限公司
- 发布部门
- 团体标准-江苏省质量协会