集成电路用高纯铝及铝合金溅射靶材

标准号

T/ICMTIA TG0011-2022

标准名称

集成电路用高纯铝及铝合金溅射靶材

状态

现行

发布日期

2022-04-08

实施日期

2022-05-01

ICS 分类

01.020 术语学(原则和协调配合)

起草单位

宁波江丰电子材料股份有限公司;有研亿金新材料有限公司

发布部门

团体标准-中关村集成电路材料产业技术创新联盟