集成电路线宽65nm-14nm逻辑工艺用300mm P/P-型硅外延片
T/ICMTIA SM006-2021
- 标准号
- T/ICMTIA SM006-2021
- 标准名称
- 集成电路线宽65nm-14nm逻辑工艺用300mm P/P-型硅外延片
- 状态
- 现行
- 发布日期
- 2021-05-31
- 实施日期
- 2021-07-30
- ICS 分类
- 01.020 术语学(原则和协调配合)
- 起草单位
- 上海新昇半导体科技有限公司;武汉新芯集成电路制造有限公司;上海华力微电子有限公司
- 发布部门
- 团体标准-中关村集成电路材料产业技术创新联盟