集成电路用电子级多晶硅

标准号

T/ICMTIA SM0028-2022

标准名称

集成电路用电子级多晶硅

状态

现行

发布日期

2022-05-10

实施日期

2022-05-31

ICS 分类

01.020 术语学(原则和协调配合)

起草单位

江苏鑫华半导体材料科技有限公司;有研半导体硅材料股份公司;上海新昇半导体科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司;中环领先半导体材料有限公司

发布部门

团体标准-中关村集成电路材料产业技术创新联盟