先进存储工艺用3mmp-型硅单晶抛光片

标准号

T/ICMTIA SM0027-2022

标准名称

先进存储工艺用3mmp-型硅单晶抛光片

状态

现行

发布日期

2022-05-10

实施日期

2022-05-31

ICS 分类

01.020 术语学(原则和协调配合)

起草单位

上海新昇半导体科技有限公司;武汉新芯集成电路制造有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司

发布部门

团体标准-中关村集成电路材料产业技术创新联盟