集成电路用氢氟酸

标准号

T/ICMTIA PC007-2021

标准名称

集成电路用氢氟酸

状态

现行

发布日期

2021-05-31

实施日期

2021-07-30

ICS 分类

29.045 半导体材料

起草单位

中巨芯科技有限公司

发布部门

团体标准-中关村集成电路材料产业技术创新联盟