集成电路用电子特种气体产品通用规范

标准号

T/ICMTIA ESG0031-2022

标准名称

集成电路用电子特种气体产品通用规范

状态

现行

发布日期

2022-07-04

实施日期

2022-07-31

ICS 分类

01.020 术语学(原则和协调配合)

起草单位

中关村集成电路材料产业技术创新联盟;欧中电子材料（重庆）有限公司;洛阳中硅高科技有限公司;福建德尔科技有限公司;中巨芯科技股份有限公司;沁阳国顺硅源光电气体有限公司;中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司;全椒南大光电材料有限公司;广东华特气体股份有限公司;大连保税区科利德化工科技开发有限公司;贵州威顿晶磷电子材料股份有限公司;江苏雅克科技股份有限公司;绿菱电子材料（天津）有限公司;苏州金宏气体股份有限公司;博纯材料股份有限公司;上海正帆科技股份有限公司;安徽亚格盛电子新材料有限公司;大连华邦化学有限公司;浙江陶特容器科技股份有限公司;中昊光明化工研究设计院有限公司

发布部门

团体标准-中关村集成电路材料产业技术创新联盟