集成电路用气体 氯化氢
T/ICMTIA ESG0026-2022
- 标准号
- T/ICMTIA ESG0026-2022
- 标准名称
- 集成电路用气体 氯化氢
- 状态
- 现行
- 发布日期
- 2022-05-10
- 实施日期
- 2022-05-31
- ICS 分类
- 01.020 术语学(原则和协调配合)
- 起草单位
- 中巨芯科技股份有限公司;浙江博瑞电子科技有限公司;中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司;中芯国际集成电路制造(天津)有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;金瑞泓科技(衢州)有限公司
- 发布部门
- 团体标准-中关村集成电路材料产业技术创新联盟