集成电路用混合气体1.2%氦/氮
T/ICMTIA ESG0024-2022
- 标准号
- T/ICMTIA ESG0024-2022
- 标准名称
- 集成电路用混合气体1.2%氦/氮
- 状态
- 现行
- 发布日期
- 2022-05-10
- 实施日期
- 2022-05-31
- ICS 分类
- 01.020 术语学(原则和协调配合)
- 起草单位
- 中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司;中国船舶集团有限公司第七一八研究所;大连科利德化工科技开发有限公司;上海凡伟仪器设备有限公司
- 发布部门
- 团体标准-中关村集成电路材料产业技术创新联盟