电子工业混合气体的制备 称量法

标准号

T/ICMTIA ESG0022-2022

标准名称

电子工业混合气体的制备 称量法

状态

现行

发布日期

2022-05-10

实施日期

2022-05-31

ICS 分类

01.020 术语学(原则和协调配合)

起草单位

大连大特气体有限公司;博纯材料股份有限公司;大连保税区科利德化工科技开发有限公司;中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司

发布部门

团体标准-中关村集成电路材料产业技术创新联盟