高纯气体产品采样通则

标准号

T/ICMTIA ESG0021-2022

标准名称

高纯气体产品采样通则

状态

现行

发布日期

2022-05-10

实施日期

2022-05-31

ICS 分类

01.020 术语学(原则和协调配合)

起草单位

上海正帆科技股份有限公司;唐山三孚硅业股份有限公司;洛阳中硅高科技有限公司;全椒南大光电材料有限公司;大连保税区科利德化工科技开发有限公司;广东华特气体股份有限公司;中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司;浙江博瑞电子科技有限公司;中巨芯科技股份有限公司

发布部门

团体标准-中关村集成电路材料产业技术创新联盟