集成电路用气体 二氟甲烷

标准号

T/ICMTIA ESG0019-2022

标准名称

集成电路用气体 二氟甲烷

状态

现行

发布日期

2022-05-10

实施日期

2022-05-31

ICS 分类

01.020 术语学(原则和协调配合)

起草单位

广东华特气体股份有限公司;福建德尔科技股份有限公司;福建博纯材料有限公司;江西华特电子化学品有限公司

发布部门

团体标准-中关村集成电路材料产业技术创新联盟