集成电路用气体 乙硅烷
T/ICMTIA ESG0016-2022
- 标准号
- T/ICMTIA ESG0016-2022
- 标准名称
- 集成电路用气体 乙硅烷
- 状态
- 现行
- 发布日期
- 2022-05-10
- 实施日期
- 2022-05-31
- ICS 分类
- 01.020 术语学(原则和协调配合)
- 起草单位
- 安徽亚格盛电子新材料有限公司;全椒亚格泰电子新材料科技有限公司;中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司;上海正帆科技股份有限公司;广东华特气体股份有限公司
- 发布部门
- 团体标准-中关村集成电路材料产业技术创新联盟