集成电路用混合气体3.5%氩/1ppm氙/氖

标准号

T/ICMTIA ESG0013-2022

标准名称

集成电路用混合气体3.5%氩/1ppm氙/氖

状态

现行

发布日期

2022-04-08

实施日期

2022-05-01

ICS 分类

01.020 术语学(原则和协调配合)

起草单位

中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司;中国船舶集团有限公司第七一八研究所

发布部门

团体标准-中关村集成电路材料产业技术创新联盟