集成电路用ArF浸没式光刻胶

标准号

T/ICMTIA 5.2-2020

标准名称

集成电路用ArF浸没式光刻胶

英文名称

ArF immersion photo resist for integrated circuits

状态

现行

发布日期

2020-12-31

实施日期

2021-03-01

ICS 分类

29.045 半导体材料

起草单位

宁波南大光电材料有限公司

发布部门

团体标准-中关村集成电路材料产业技术创新联盟