集成电路用氟化氩光刻胶单体 第1部分:液体甲基丙烯酸酯类
T/ICMTIA 4.1-2020
- 标准号
- T/ICMTIA 4.1-2020
- 标准名称
- 集成电路用氟化氩光刻胶单体 第1部分:液体甲基丙烯酸酯类
- 英文名称
- ArF photoresist monomer for integrated circuits Part 1: Liquid methacrylate
- 状态
- 现行
- 发布日期
- 2020-12-31
- 实施日期
- 2021-03-01
- ICS 分类
- 29.045 半导体材料
- 起草单位
- 徐州博康信息化学品有限公司
- 发布部门
- 团体标准-中关村集成电路材料产业技术创新联盟