集成电路用六氯乙硅烷
T/ICMTIA 3-2020
- 标准号
- T/ICMTIA 3-2020
- 标准名称
- 集成电路用六氯乙硅烷
- 英文名称
- Hexachlorodisilane for integrated circuit
- 状态
- 现行
- 发布日期
- 2020-02-24
- 实施日期
- 2020-04-24
- ICS 分类
- 71.100.20 工业气体
- CCS 分类
- G86 工业气体与化学气体
- 起草单位
- 洛阳中硅高科技有限公司;江苏南大光电材料股份有限公司;江苏雅克科技股份有限公司;中巨芯科技有限公司
- 发布部门
- 团体标准-中关村集成电路材料产业技术创新联盟