集成电路用过氧化氢
T/ICMTIA 2-2019
- 标准号
- T/ICMTIA 2-2019
- 标准名称
- 集成电路用过氧化氢
- 英文名称
- Hydrogen peroxide for Intergrated circuits
- 状态
- 现行
- 发布日期
- 2019-04-17
- 实施日期
- 2019-10-10
- ICS 分类
- 71.060.20 氧化物
- CCS 分类
- G64 高纯试剂、高纯物质
- 起草单位
- 苏州晶瑞化学股份有限公司;同济大学;北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司;黎明化工研究设计院有限责任公司
- 发布部门
- 团体标准-中关村集成电路材料产业技术创新联盟