集成电路材料产业技术创新联盟气体基础规范
T/ICMTIA 1-2019
- 标准号
- T/ICMTIA 1-2019
- 标准名称
- 集成电路材料产业技术创新联盟气体基础规范
- 英文名称
- The Integrated Circuit Materials Industry Technology Innovative Alliance—Gas base specification
- 状态
- 现行
- 发布日期
- 2019-04-17
- 实施日期
- 2019-10-10
- ICS 分类
- 71.100.20 工业气体
- CCS 分类
- G04 基础标准与通用方法
- 起草单位
- 中国船舶重工集团公司第七一八研究所;江苏南大光电材料股份有限公司;大连保税区科利德化工科技开发有限公司
- 发布部门
- 团体标准-中关村集成电路材料产业技术创新联盟