半导体设备前端模块

标准号

T/IAWBS 019-2023

标准名称

半导体设备前端模块

英文名称

Equipment front end module

状态

现行

发布日期

2023-11-13

实施日期

2023-11-20

起草单位

北京锐洁机器人科技有限公司;天津锐洁芯导机器人有限公司;北京北方华创微电子装备有限公司;北京燕东微电子科技有限公司;华海清科（北京）科技有限公司;SMC(中国)有限公司

发布部门

团体标准-中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟