金刚石单晶抛光片位错密度的测试方法
T/IAWBS 018-2022
- 标准号
- T/IAWBS 018-2022
- 标准名称
- 金刚石单晶抛光片位错密度的测试方法
- 英文名称
- Test method for dislocation density of diamond single crystal polished wafers
- 状态
- 现行
- 发布日期
- 2022-12-15
- 实施日期
- 2022-12-22
- ICS 分类
- 29.045 半导体材料
- 起草单位
- 中国科学院半导体研究所;中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟;北京三平泰克科技有限责任公司;吉林大学
- 发布部门
- 团体标准-中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟