碳化硅单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法

标准号

T/IAWBS 016-2022

标准名称

碳化硅单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法

状态

现行

发布日期

2022-03-17

实施日期

2022-03-24

ICS 分类

29.045 半导体材料

起草单位

国宏中宇科技发展有限公司;中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟;中科钢研节能科技有限公司;北京天科合达半导体股份有限公司;中国科学院物理研究所;北京三平泰克科技有限责任公司;北京聚睿众邦科技有限公司;芜湖启迪半导体有限公司;中国科学院半导体研究所

发布部门

团体标准-中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟