碳化硅单晶抛光片位错密度的测试方法
T/IAWBS 014-2021
- 标准号
- T/IAWBS 014-2021
- 标准名称
- 碳化硅单晶抛光片位错密度的测试方法
- 英文名称
- Test method for dislocation density of silicon carbide polished wafers
- 状态
- 现行
- 发布日期
- 2021-09-15
- 实施日期
- 2021-09-22
- ICS 分类
- 29.045 半导体材料
- 起草单位
- 中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟;北京天科合达半导体股份有限公司.
- 发布部门
- 团体标准-中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟