碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度测试方法 ——共焦点微分干涉光学法
T/IAWBS 012-2019
- 标准号
- T/IAWBS 012-2019
- 标准名称
- 碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度测试方法 ——共焦点微分干涉光学法
- 英文名称
- Test Method for Surface Quality and Micropipe?Density?of Silicon Carbide?Single Crystal?Polishing Wafers——Confocal and Differential Interferometry Optics
- 状态
- 现行
- 发布日期
- 2019-12-27
- 实施日期
- 2019-12-31
- ICS 分类
- 29.045 半导体材料
- 起草单位
- 中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟;中国电子科技集团公司第四十六研究所;中国电子科技集团公司第十三研究所;中国电子科技集团公司第二研究所;中国电子科技集团公司第五十五研究所
- 发布部门
- 团体标准-中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟