导电碳化硅单晶片电阻率测量方法—非接触涡流法
T/IAWBS 011-2019
- 标准号
- T/IAWBS 011-2019
- 标准名称
- 导电碳化硅单晶片电阻率测量方法—非接触涡流法
- 英文名称
- Test methods for measuring resistivity of conductive silicon carbide wafers with a noncontact eddy-current gauge
- 状态
- 现行
- 发布日期
- 2019-12-27
- 实施日期
- 2019-12-31
- ICS 分类
- 29.045 半导体材料
- 起草单位
- 中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟;中科钢研节能科技有限公司;北京天科合达半导体股份有限公司;中国科学院物理研究所;北京三平泰克科技有限责任公司;国宏中宇科技发展有限公司
- 发布部门
- 团体标准-中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟