碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度检测方法-激光散射检测法

标准号

T/IAWBS 010-2019

标准名称

碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度检测方法-激光散射检测法

英文名称

Detection method for measuring the surface Detection method for measuring the surface quality and micropipe densityof polished monocrystalline silicon carbide wafers-Laser Scattering Method

状态

现行

发布日期

2019-12-27

实施日期

2019-12-31

ICS 分类

29.045 半导体材料

起草单位

中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟;北京天科合达半导体股份有限公司;东莞天域半导体科技有限公司;江苏天科合达半导体有限公司;新疆天科合达蓝光半导体有限公司;中国科学院物理研究所;北京三平泰克科技有限责任公司;中国科学院半导体研究所;中国电子科技集团公司第四十六研究所;全球能源互联网研究院有限公司;瀚天天成电子科技（厦门）有限公司;中国科学院电工研究所;泰科天润半导体科技（北京）有限公司

发布部门

团体标准-中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟