SiC晶片的残余应力检测方法
T/IAWBS 008-2019
- 标准号
- T/IAWBS 008-2019
- 标准名称
- SiC晶片的残余应力检测方法
- 英文名称
- Experimental method for residual stress in SiC wafers
- 状态
- 现行
- 发布日期
- 2019-12-27
- 实施日期
- 2019-12-31
- ICS 分类
- 29.045 半导体材料
- 起草单位
- 中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟;北京聚睿众邦科技有限公司;北京航空航天大学;北京三平泰克科技有限责任公司
- 发布部门
- 团体标准-中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟