6~8英寸碳化硅单晶抛光片
T/IAWBS 005-2024
- 标准号
- T/IAWBS 005-2024
- 标准名称
- 6~8英寸碳化硅单晶抛光片
- 英文名称
- 6~8 inch polished monocrystalline silicon carbide wafers
- 状态
- 现行
- 发布日期
- 2024-01-12
- 实施日期
- 2024-01-19
- ICS 分类
- 29.045 半导体材料
- CCS 分类
- H80 半金属与半导体材料综合
- 起草单位
- 北京天科合达半导体股份有限公司;中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
- 发布部门
- 团体标准-中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟