碳化硅外延层载流子浓度测定_汞探针电容-电压法

标准号

T/IAWBS 003-2017

标准名称

碳化硅外延层载流子浓度测定_汞探针电容-电压法

状态

现行

发布日期

2017-12-20

实施日期

2017-12-31

ICS 分类

29.045 半导体材料

CCS 分类

H80 半金属与半导体材料综合

起草单位

中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟;瀚天天成电子科技（厦门）有限公司;全球能源互联网研究院;东莞天域半导体科技有限公司;北京天科合达半导体股份有限公司;中国电子科技集团公司第五十五研究所

发布部门

团体标准-中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟