碳化硅外延片表面缺陷测试方法

标准号

T/IAWBS 002-2017

标准名称

碳化硅外延片表面缺陷测试方法

状态

现行

发布日期

2017-12-20

实施日期

2017-12-31

ICS 分类

29.045 半导体材料

CCS 分类

L17 电感器、变压器

起草单位

中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟;全球能源互联网研究院有限公司;瀚天天成电子科技（厦门）有限公司;东莞市天域半导体科技有限公司等

发布部门

团体标准-中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟