射频电源动态阻抗测试方法
T/GVS 007-2022
- 标准号
- T/GVS 007-2022
- 标准名称
- 射频电源动态阻抗测试方法
- 英文名称
- Test method for dynamic impedance of RF generator
- 状态
- 现行
- 发布日期
- 2022-07-11
- 实施日期
- 2022-07-11
- ICS 分类
- 19.080 电工和电子试验
- CCS 分类
- K80 电源综合
- 起草单位
- 深圳市恒运昌真空技术有限公司;广东工业大学;大连理工大学;拓荆科技股份有限公司
- 发布部门
- 团体标准-广东省真空学会