半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试规范
T/GVS 005-2022
- 标准号
- T/GVS 005-2022
- 标准名称
- 半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试规范
- 英文名称
- Testing specification for contrast method of absolute pressure capacitance diaphragm vacuum gauge in the semiconductor equipment
- 状态
- 现行
- 发布日期
- 2022-03-28
- 实施日期
- 2022-03-28
- ICS 分类
- 23.160 真空技术
- CCS 分类
- J78 真空技术与设备
- 起草单位
- 季华实验室;暨南大学;佛山市佛欣真空技术有限公司;中山共享光电真空技术有限公司;中山凯旋真空科技股份有限公司;佛山兴翰科技有限公司
- 发布部门
- 团体标准-广东省真空学会