半导体制造设备用超高纯度不锈钢棒

标准号

T/CSTA 0052-2023

标准名称

半导体制造设备用超高纯度不锈钢棒

状态

现行

发布日期

2023-11-30

实施日期

2023-11-30

ICS 分类

77.140.60 钢棒和条钢

起草单位

安徽富凯特材有限公司;江苏武进不锈股份有限公司;浦夕特种合金(上海)有限公司;冶金工业规划研究院

发布部门

团体标准-中关村不锈及特种合金新材料产业技术创新联盟