多晶硅生产用氢气中金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

T/CNIA 0141-2022
标准号
T/CNIA 0141-2022
标准名称
多晶硅生产用氢气中金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
状态
现行
发布日期
2022-02-28
实施日期
2022-08-01
ICS 分类
77.040.01 金属材料试验综合
起草单位
内蒙古通威高纯晶硅有限公司;四川永祥股份有限公司;洛阳中硅高科技有限公司;新疆大全新能源股份有限公司;亚洲硅业(青海)股份有限公司;新特能源股份有限公司;江苏中能硅业科技发展有限公司;青海芯测科技有限公司;江苏鑫华半导体材料科技有限公司
发布部门
团体标准-中国有色金属工业协会
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