电子工业用高纯氢氟酸中痕量杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
T/CNIA 0118-2021
- 标准号
- T/CNIA 0118-2021
- 标准名称
- 电子工业用高纯氢氟酸中痕量杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
- 状态
- 现行
- 发布日期
- 2021-03-19
- 实施日期
- 2021-09-01
- ICS 分类
- 71.040.40 化学分析
- 起草单位
- 青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司;青海芯测科技有限公司;洛阳中硅高科技有限公司;亚洲硅业（青海）股份有限公司;江苏赛夫特半导体材料检测技术有限公司
- 发布部门
- 团体标准-中国有色金属工业协会