绿色设计产品评价技术规范 电子级氯硅烷

标准号

T/CNIA 0103-2021

标准名称

绿色设计产品评价技术规范 电子级氯硅烷

状态

现行

发布日期

2021-03-19

实施日期

2021-09-01

ICS 分类

29.045 半导体材料

起草单位

洛阳中硅高科技有限公司;青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司;南京国盛电子有限公司;多晶硅材料制备国家工程实验室;青海芯测科技有限公司

发布部门

团体标准-中国有色金属工业协会