绿色设计产品评价技术规范 碳化硅单晶抛光片
T/CNIA 0101-2021
- 标准号
- T/CNIA 0101-2021
- 标准名称
- 绿色设计产品评价技术规范 碳化硅单晶抛光片
- 状态
- 现行
- 发布日期
- 2021-03-19
- 实施日期
- 2021-09-01
- ICS 分类
- 29.045 半导体材料
- 起草单位
- 本文件规定了4H及6H碳化硅单晶抛光片绿色设计产品评价的评价要求;生命周期评价报告编制方法;评价方法和流程本文件适用于物理气相传输法生产的4H及6H碳化硅单晶抛光片绿色设计产品的评价
- 发布部门
- 团体标准-中国有色金属工业协会