硅外延用四氯化硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

标准号

T/CNIA 0061-2020

标准名称

硅外延用四氯化硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

状态

现行

发布日期

2020-05-27

实施日期

2020-08-01

ICS 分类

77.040.01 金属材料试验综合

起草单位

洛阳中硅高科技有限公司;亚洲硅业（青海）股份有限公司;新特能源股份有限公司;新疆协鑫新能源材料科技有限公司

发布部门

团体标准-中国有色金属工业协会