多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定 气相色谱法

标准号

T/CNIA 0060-2020

标准名称

多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定 气相色谱法

状态

现行

发布日期

2020-05-27

实施日期

2020-08-01

ICS 分类

77.040.01 金属材料试验综合

起草单位

宜昌南玻硅材料有限公司;内蒙古神舟硅业有限责任公司

发布部门

团体标准-中国有色金属工业协会