气相沉积法碳化硅涂层

标准号

T/CNIA 0011-2019

标准名称

气相沉积法碳化硅涂层

状态

现行

发布日期

2019-02-13

实施日期

2019-06-01

ICS 分类

29.045 半导体材料

起草单位

江苏中能硅业科技发展有限公司;江苏协鑫特种材料科技有限公司

发布部门

团体标准-中国有色金属工业协会