集成电路用混合气体 10%氨/氦

标准号

T/CHBAS 34-2023

标准名称

集成电路用混合气体 10%氨/氦

状态

现行

发布日期

2023-07-27

实施日期

2023-07-27

ICS 分类

99 (没有标题)

起草单位

中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司;中国船舶集团有限公司第七一八研究所

发布部门

团体标准-河北省标准化协会